一、型号含义

• FS1015CL：基础系列（MEMS 热式气体质量流量传感器）

• 60：量程 0~60 SLPM（标准升 / 分钟，空气）

• ***：*** 15mm 标准医疗快插接口

• C：输出信号版本（模拟电压 0.5~4.5V DC）

二、核心参数（空气，20℃，101.325 kPa）

• 流量范围：0 ~ 60 SLPM

• 精度：±(2.0 + 0.5%FS) %

• 重复性：±0.5%

• 响应时间：8 ms

• 供电：5 VDC ±5%

• 工作温度：-10 ~ +55 ℃

• 耐压：≤ 0.2 MPa

• 压损：典型 <1300 Pa

• 输出：线性模拟 0.5 ~ 4.5 VDC

• 接口：*** 15mm 医疗直通

• 重量：约 21.5 g

三、典型应用

• 医用呼吸机、麻醉机

• 医疗内窥镜、监护设备

• 洁净气体流量监测与控制

FS1015CL系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围到150SLPM，*** 15mm连接方式适用于呼吸机、麻醉机等多种医疗设备。

    产品简介        

FS1015CL系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围到150SLPM，*** 15mm连接方式适用于呼吸机、麻醉机等多种医疗设备。

    产品特点        

传感器灵敏度高，有极小的始动流量

传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，***了传感器的高精度计量

在单个芯片上集成了多个传感器，使传感器的量程比大大提高

传感器的零点稳定度高

全量程高稳定性

全量程高***度和优良的重复性

低功耗、低压损

响应速度快