



FS8000系列 MEMS气体质量流量传感器 | 工业过程控制专用 | 螺纹快装 高精度 低压损
FS8000系列气体质量流量传感器,由全球知名MEMS传感器制造商矽翔微机电系统(Siargo)研发生产,采用矽翔自主研发的Thermal-D® MEMS流量传感芯片,专为各类工业过程控制场景打造。产品采用螺纹接口设计,安装便捷、响应速度最快可达1ms,是固晶机、半导体封装设备及其他自动化控制设备的理想配套选型。
| 优势 | 说明 |
|---|---|
| 🧠 MEMS先进技术内核 | 采用矽翔自主Thermal-D® MEMS流量传感芯片,灵敏度高、长期稳定性优异 |
| ⚡ 1ms超快响应 | FS8001N型号响应时间低至1ms,满足高速自动化/机器人控制需求 |
| 🔬 高精度测量 | 最高精度达±(1.5±0.5)FS%,重复性0.5±0.15FS% |
| 💨 极低压损 | 流通阻力小,对被测气流影响微弱,保障工艺稳定性 |
| 🔧 螺纹接口即装即用 | 标准M5/Rc1/8螺纹接口,兼容主流工业设备,大幅降低安装成本 |
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