



FS5001E-500-V-A气体质量流量传感器(MFC),量程为 500 sccm,属于 FS5001E 系列升级版(替代 FS5001L),采用第四代 MEMS 芯片,支持模拟/数字输出(如 RS232/I?C),适用于精密气体流量控制场景。
型号解析:FS5001E(系列) + 500(量程 500 sccm) + V(通常指电压输出或特定版本) + A(可能指安装方式、接口或版本后缀,具体需查 datasheet)。
核心参数:量程 0–500 sccm,精度 ±(2.0 + 0.5% FS)%,重复性 (0.5 + 0.15% FS)%,温度效应 <±0.08%/℃。
输出方式:支持模拟电压(如 0–5 V)或数字通信(RS232/I?C),贴片式安装。
状态:该型号自 2024 年 8 月起 已替代旧版 FS5001L,机械与电气接口兼容,但性能与温漂优化。
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