



FS1100系列气体质量流量传感器是专门为各类医用呼吸机气体测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于空气、氧气或空氧混合气的测量。成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量计,测量范围可到250SLPM。
产品特点
传感器灵敏度高,有极小的始动流量
传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,***了传感器的高精度计量
在单个芯片上集成了多个传感器,使传感器的量程比大大提高
集成温度传感器
全量程高稳定性
响应时间快
低功耗、低压损
专为医疗设备设计
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