



F1013 微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测,具有很好的精度与重复性。内置有温度传感器,每只都进行专有的温度补偿校准;同时具有线性模拟电压输出,方便使用。
传感器特点
新一代MEMS传感器芯片技术;
精度高,响应速度快,重复性好;
可精确测量极小流量;
经过完全校准和温度补偿;
主要应用
工业过程控制
空气和环境保护
便携式仪器
技术指标
| 产品型号 | F1013 | |||
| 量程① | 20、30、50、100、200、500、1000、1200、2000sccm② | |||
| 最小 | 典型值 | 最大 | 单位 | |
| 满量程输出 | 4.90 | 5.00 | 5.10 | V | 
| 零流量输出 | 0.96 | 1.00 | 1.04 | V | 
| 输出阻抗 | - | 200 | - | Ω | 
| 工作电压 | 7.0 | 10.0 | 14.0 | V | 
| 工作电流 | 15 | 25 | 30 | MA | 
| 精度 | - | ±1.5 | ±2.5 | %F.S | 
| 重复性 | - | ±0.3 | ±0.5 | %F.S | 
| 年漂移③ | - | ±0.1 | ±0.5 | %F.S | 
| 耐压④ | - | - | 200 | kPa | 
| 反应时间 | 45 | 50 | 55 | ms | 
| 工作温度⑤ | -25 | - | 65 | ℃ | 
| 储存温度 | -40 | - | 90 | ℃ | 
注:
①可提供20-2000sccm之间任意量程,20、30、50、100、200、500、1000、1200、2000sccm为常规量程,其他量程收定制费。
②sccm:standard-state cubic centimeter per minute,意义为标况毫升每分钟,标况规定为:气体温度0℃ ;气压101.325 kPa;
③测试条件为室温、清洁空气。
④可提供耐压为0.8MPa产品。
⑤温度补偿实校范围为0℃-50℃,超过此范围温度补偿效果不能保证。
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